TY  - GENERIC
DO  - 10.20944/preprints202212.0583.v1
UR  - http://dx.doi.org/10.20944/preprints202212.0583.v1
TI  - Laser Patterned Alumina Mask and Mask-less Dry Etch of Si for Light Trapping
T2  - Preprints
AU  - Maksimovic, Jovan
AU  - Mu, Haoran
AU  - Smith, Daniel
AU  - Katkus, Tomas
AU  - Vaičiulis, Mantas
AU  - Aleksiejūnas, Ramūnas
AU  - Seniutinas, Gediminas
AU  - Ng, Soon Hock
AU  - Juodkazis, Saulius
PY  - 2022
DA  - 2022/12/30
PB  - Preprints